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增量式
非接触开放型光栅尺
用于直线运动系统的位置控制或位置测量
定位于半导体制造、测试和测量系统及印刷设备领域的应用,以及与线性电机的集成应用。
非接触开放型光栅尺 包含两个部件，读数头和带栅格的测量钢带 !
-由于读数头和测量钢带之间无接触且没有任何密封部件,所以电机不需要额外的力矩就可以启动旋转。
-在实际应用中,可能需要增加防护措施来达到应用所需要的防护等级。
-相比集成式测量系统,模块式编码器使得安装更加方便快捷
●参考标记集成于增量刻线轨道中,缩小钢带尺寸。可通过磁铁选择参考标记。
●输出信号类型:1Vpp 正弦波信号 或 分辨率最高可达 25 nm 的 TTL 方波信号。
●高精度和优异的重复性与数控系统一起可提供平稳可靠的控制。
●蚀刻钢带三种不同安装方式,以适应各种工作条件:
-自带背胶安装
-导向加强板安装
-导向加强板安装 两端张紧
●厚度 0.3 mm 带背胶钢带进一步提高组装便利性(可裁剪至所需长度)
●最高测量速度数据表
| 上位设备时钟频率(MHz) | 脉冲边沿间隔时间(ns) | 最高测量速度(m/s) | |||||
| 分辨率5μm | 分辨率1μm | 分辨率0.5μm | 分辨率0.1μm | 分辨率0.05μm | 分辨率0.025μm | ||
| 40 | 25 | 10 | 10 | 10 | 2.4 | 1.2 | 0.6 |
| 25 | 40 | 10 | 10 | 9 | 1.8 | 0.9 | 0.45 |
| 3 | 50 | 10 | 10 | 7.2 | 1.44 | 0.72 | 0.36 |
| 2 | 83 | 10 | 9 | 4.5 | 0.9 | 0.45 | 0.23 |
| 10 | 100 | 10 | 8 | 4 | 0.8 | 0.4 | 0.2 |
| 8 | 125 | 10 | 6.55 | 3.27 | 0.65 | 0.33 | 0.16 |
| 6 | 166 | 10 | 5.14 | 2.57 | 0.51 | 0.26 | 0.13 |
| 4 | 250 | 10 | 3.43 | 1.71 | 0.34 | 0.17 | 0.09 |
| 2 | 500 | 8.57 | 1.71 | 0.86 | 0.17 | 0.09 | 0.04 |
敞开式光栅尺技术参数
| ITRD | ITRX | ITRY | ITRW | ITRZ | ITRV | ITRP | |
| ITSD | ITSX | ITSY | ITSW | ITSZ | ITSV | ITSP | |
| 测量方式 | 增量型,测量基于栅格间距为 20μm 的不锈钢钢带栅尺 | ||||||
| 钢带热膨胀系数 | αthem ≈ 11 ppm/K. | ||||||
| 分辨率 | 5μm | 1μm | 0.5μm | 0.1μm | 0.05μm | 0.025μm | |
| 输出信号 | 差分 TTL | 1Vpp | |||||
| 信号周期 | 20μm | 4μm | 2μm | 0.4μm | 0.2μm | 0.1μm | 20μm |
| 参考标记lo 类型 | ITR口:读取并输出所有参考标记(10)信号(间隔50mm) | ||||||
| ITS口:读取并输出由磁体选择的参考标记(lo)信号 | |||||||
| 限位信号 | 开集极输出,低电平有效;由磁体激活。 | ||||||
| 最大电缆长度 | 可达 30 m(*) | ||||||
| 电源 | 5V ± 10 %;<250 mA(空载) | 5V ± 10 %;<200 mA(空载) | |||||
| 读数头连接 | 自带 1米 或3米 电缆(电缆终端带连接器) | ||||||
| 读数头防护等级 | IP 40 | ||||||
| 精度 | ±5um/m(导向加强板安装且两端张紧型) | ||||||
| ±10 um/m(背胶粘贴安装型或导向加强板安装型) | |||||||
| 抗振性能 | 200 m/s2(55 ...2000 HZ)IEC 60068-2-6 | ||||||
| 抗冲击性能 | 1000 m/s2(11 ms)IEC60068-2-27 | ||||||
| 工作温度 | 0'c...70℃C | ||||||
| 储存温度 | -20°C...70°C | ||||||
| 相对湿度 | 20°C..80% | ||||||
（*)与电缆类型、读数头电缆长度及上位设备时钟频率相关。
（*):背胶粘贴安装型钢带:70 mm-16020 mm,每递增50 mm 为一个规格;
导向加强板安装型钢带:240mm-6040 mm,每递增50mm 为一个规格;
导向加强板安装且两端张紧型钢带:140 mm-30,040 mm，每递增 50 mm 为一个规格。
ITA-背胶粘贴安装
ITG-导向加强板安装
ITT-导向加强板安装 两端张紧
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